[发明专利]具凹槽电极与光提取结构的发光二极管晶粒及其制作方法无效
申请号: | 201210342451.4 | 申请日: | 2012-09-14 |
公开(公告)号: | CN103325907A | 公开(公告)日: | 2013-09-25 |
发明(设计)人: | 段忠;朱俊宜 | 申请(专利权)人: | 旭明光电股份有限公司 |
主分类号: | H01L33/22 | 分类号: | H01L33/22;H01L33/38 |
代理公司: | 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 11139 | 代理人: | 孙皓晨 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明公开一种发光二极管晶粒及其制作方法。所述发光二极管晶粒包含:一多层的半导体基板,包含一n型限制层;一多重量子井层,电性连接所述n型限制层,用以发射电磁辐射;及一p型限制层,电性连接所述多重量子井层;多个光提取结构,位于所述n型限制层上,用以散射所述电磁辐射;以及一电极,位于一嵌入所述n型限制层的凹槽内、并接近所述多个光提取结构。所述方法包含:形成所述半导体基板;形成一凹槽于所述n型限制层内,其具有多个边墙及一平的底面;形成一电极于所述凹槽内,其包含一保形地形成于所述凹槽的边墙及底面的导电材料;平坦化所述电极;以及形成多个光提取结构于所述n型限制层内,并接近所述电极。 | ||
搜索关键词: | 凹槽 电极 提取 结构 发光二极管 晶粒 及其 制作方法 | ||
【主权项】:
一种发光二极管晶粒,其特征在于,其包括:一多层的半导体基板,包括:一n型限制层;一多重量子井层,电性连接所述n型限制层,用以发射电磁辐射;及一p型限制层,电性连接所述多重量子井层;多个光提取结构,位于所述n型限制层上,用以散射所述电磁辐射;以及一电极,位于一嵌入所述n型限制层的凹槽内、接近所述多个光提取结构、且电性连接所述n型限制层,所述凹槽具有多个边墙及一底面,所述电极保形地形成于所述凹槽的边墙及底面上。
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