[发明专利]再生模板的方法和再生设备有效
| 申请号： | 201210347807.3 | 申请日： | 2012-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN103092010A | 公开（公告）日： | 2013-05-08 |
| 发明（设计）人： | 小林正子;平林英明 | 申请（专利权）人： | 株式会社东芝 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 张海涛;于辉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及再生模板的方法和再生设备。本发明的一方面，这里提供了一种再生模板的方法。该模板包括转移表面和脱模层。该转移表面具有凹凸图案。该脱模层包含无机官能团和有机官能团，二者都键合到该转移表面上。该再生模板的方法包括下面两个步骤：通过对脱模层中所包含的有机官能团进行氧化和分解来除去有机官能团；和除去无机官能团；并且通过将硅烷偶联剂与转移表面偶联来形成脱模层。 | ||
| 搜索关键词： | 再生 模板 方法 设备 | ||
【主权项】：
一种再生模板的再生方法，该模板包含：具有凹凸图案的转移表面，和包含无机官能团和有机官能团的脱模层，这两种官能团都键合到该转移表面上，该方法包含：通过对脱模层中所包含的有机官能团进行氧化和分解来除去有机官能团；除去无机官能团；和通过将硅烷偶联剂与转移表面偶联来形成脱模层。
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