[发明专利]防断电保护的硅片清洗机有效
| 申请号： | 201210348357.X | 申请日： | 2012-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN102861745A | 公开（公告）日： | 2013-01-09 |
| 发明（设计）人： | 张绍国;何金群;裴立坤;吴仪;王好肖 | 申请（专利权）人： | 北京七星华创电子股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B13/00 | 分类号： | B08B13/00;B08B3/00 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 王莹 |
| 地址： | 100015 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种防断电保护的硅片清洗机，包括：工艺腔室和位于工艺腔室底部的N2管路，所述N2管路包括：常开N2管路和常闭N2管路，所述常开N2管路与常闭N2管路并联设置，所述常开N2管路上设有常开波纹密封阀，所述常闭N2管路上设有常闭波纹密封阀。本发明提供的防断电保护的硅片清洗机，采用双通道互锁并联设计，当设备主电源发生断电时候，两个互锁的波纹密封阀通过相反控制动作，使N2通路不会因为断电而发生中断，保证清洗机环境清洁。 | ||
| 搜索关键词： | 断电 保护 硅片 清洗 | ||
【主权项】：
一种防断电保护的硅片清洗机，其特征在于，包括：工艺腔室和位于工艺腔室底部的N2管路，所述N2管路包括：常开N2管路和常闭N2管路，所述常开N2管路与常闭N2管路并联设置，所述常开N2管路上设有常开波纹密封阀，所述常闭N2管路上设有常闭波纹密封阀。
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