[发明专利]水溶性防锈脱水剂及其制备方法与应用

摘要

本发明水溶性防锈脱水剂及其制备方法与应用，包括如下步骤S1，前洗净；S2，贴付；S3，粗抛；S4，中抛；S5，精抛；S6，剥离；S7，去蜡洗净；其中所述粗抛、所述中抛及所述精抛分别包括，S1.1，前减压水抛；S1.2，加压研磨液抛光；S1.3，后减压水抛；在所述粗抛及所述精抛中的所述后减压水抛之后加有减压表面活性剂抛光步骤。本发明水溶性防锈脱水剂及其制备方法与应用简化了抛光制程，有效降低了固定资产的投入，另外通过增加“减压表面活性剂抛光”，有效消除了晶圆表面的“白雾”现象。而采用高品质的流动纯水进行剥离后晶圆的短期保存，不仅颗粒问题得以改进，更换、配制溶液的作业也无需进行，减轻了作业负担，制程的合格率也得以提升。

主权项

水溶性防锈脱水剂，其特征在于，包括：0.5％(w/v)的聚乙二醇、0.1％(w/v)～0.2％(w/v)的pH稳定剂、0.2％(w/v)～0.5％(w/v)的苯并三氮唑、0.2％(w/v)～0.4％(w/v)的钼酸钠、0.5％(v/v)的油酸及纯水。