[发明专利]光刻系统中倾斜扫描显示下提高数据传输速度的方法有效
| 申请号： | 201210350148.9 | 申请日： | 2012-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN102890429A | 公开（公告）日： | 2013-01-23 |
| 发明（设计）人： | 陈修涛 | 申请（专利权）人： | 天津芯硕精密机械有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 安徽合肥华信知识产权代理有限公司 34112 | 代理人： | 余成俊 |
| 地址： | 300457 天津*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光刻系统中倾斜扫描下提高数据读取速度的方法，包括以下步骤：根据倾斜因子N确定一行数据的大小，并计算在一个Row地址下能存储的数据行数；重新排布动态同步存储器DDR2或DDR3地址的顺序，将Row地址放在最高位，这样换Row的次数将减到最小；根据倾斜因子N计算出读取的相邻两行数据的关系，将相邻的两行数据存放在同一个Row地址下；按行依次读取数据，并将数据重新组合形成微镜DMD倾斜显示需要的图形数据，存储在动态同步存储器DDR2或DDR3之中。本发明的方法使得动态同步存储器DDR2或DDR3读取数据尽可能在同一个Row地址中排布，提高读写效率。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 系统 倾斜 扫描 显示 提高 数据传输 速度 方法 | ||
【主权项】：
一种光刻系统中倾斜扫描显示下提高数据传输速度的方法，其特征在于，上位机将数据下发到下位机，下位机将数据存放在内存中缓存，然后对缓存的数据进行重新组合，形成微镜DMD上显示的图形数据；具体步骤如下：（1）根据倾斜因子N确定一行数据的大小，并计算在一个Row地址下能存储的数据行数；（2）重新排布内存地址的顺序，将Row地址放在最高位；（3）根据倾斜因子N计算出读取的相邻两行数据的关系，将相邻的两行数据存放在同一个Row地址下；（4）按行依次读取数据，并将数据重新组合形成微镜DMD倾斜显示需要的图形数据，存储在内存之中。
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