[发明专利]一种加工双面ITO玻璃的紫外激光刻蚀装置无效
| 申请号： | 201210351728.X | 申请日： | 2012-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN103658992A | 公开（公告）日： | 2014-03-26 |
| 发明（设计）人： | 魏志凌;宁军;高永强 | 申请（专利权）人： | 昆山思拓机器有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/362 | 分类号： | B23K26/362;B23K26/062;B23K26/70;B23K26/08 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215347 江苏省苏州市昆山*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种加工双面ITO玻璃的紫外激光刻蚀装置，可以使用紫外激光将照射部位薄膜去除,达到对双面ITO玻璃的加工目的,本发明公开的刻蚀装置包括支撑机构和紫外激光光路加工机构，所述支撑机构包括上支撑装置和下支撑装置，所述上下支撑装置各包含一套紫外激光光路加工机构，用于提供加工双面ITO玻璃的紫外激光束，同时所述紫外激光刻蚀装置还包括吸附孔，提供固定双面ITO玻璃的吸附力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 加工 双面 ito 玻璃 紫外 激光 刻蚀 装置 | ||
【主权项】：
一种加工双面ITO玻璃的紫外激光刻蚀装置，包括：紫外激光光路加工机构，所述紫外激光光路加工机构包括能量衰减部件、扫描部件，所述能量衰减部件用于激光束能量调节，所述扫描部件用于对双面ITO玻璃进行扫描；和支撑机构，所述支撑机构包括上支撑机构和下支撑机构，所述上下支撑机构各包含有所述紫外激光光路加工机构；和激光器。
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