[发明专利]树脂密封装置有效
申请号: | 201210351761.2 | 申请日: | 2012-09-19 |
公开(公告)号: | CN103035537A | 公开(公告)日: | 2013-04-10 |
发明(设计)人: | 五反田富高 | 申请(专利权)人: | 第一精工株式会社 |
主分类号: | H01L21/56 | 分类号: | H01L21/56;B29C45/14 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 胡晓萍 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种结构简单、价格便宜且小型的树脂密封装置。该树脂密封装置至少包括上模具(21)和下模具(23),在所述上模具(21)与所述下模具(23)之间夹住基板及薄膜,并且使用填充于所述基板与薄膜之间的树脂材料对安装于基板的电子元器件进行树脂密封。特别地,所述树脂密封装置包括:移送元件,该移送元件将所述下模具(23)移送至与所述上模具(21)相对的成形位置、位于所述上模具(21)的一侧的侧方且位于供给所述薄膜(71)的薄膜供给单元(30)的正下方的薄膜供给位置(F)以及位于所述上模具(21)的另一侧的侧方的基板供给位置(E);以及控制元件,该控制元件能将所述下模具(23)单体移送至薄膜供给位置(F),并能在载置有所述中间模具(22)的状态下将所述下模具(23)移送至基板供给位置(E)。 | ||
搜索关键词: | 树脂 密封 装置 | ||
【主权项】:
一种树脂密封装置,至少包括上模具和下模具,在所述上模具与所述下模具之间夹住基板及薄膜,并且使用填充于所述基板与薄膜之间的树脂材料对安装于基板的电子元器件进行树脂密封,其特征在于,包括:移送元件,该移送元件将所述下模具移送至与所述上模具相对的成形位置、位于所述上模具的一侧的侧方且位于供给所述薄膜的薄膜供给单元的正下方的薄膜供给位置以及位于所述上模具的另一侧的侧方的基板供给位置;以及控制元件,该控制元件能将所述下模具移送至薄膜供给位置,并能将所述下模具移送至基板供给位置。
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H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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