[发明专利]一种硅基薄膜太阳能电池用绒面AZO薄膜的制备方法

摘要

本发明公开一种硅基薄膜太阳能电池用绒面AZO薄膜的制备方法，采用石英砂粉末水溶液作为刻蚀玻璃的腐蚀液，对AZO薄膜的基底玻璃进行刻蚀，形成玻璃表面的绒面结构，从而在玻璃表面之上生长的AZO薄膜能够实现绒面结构，本发明避免了酸蚀工艺对AZO薄膜厚度要求过高导致成本增加的问题，同时也不会造成废酸对环境的污染，所制备出的AZO绒面薄膜适用于硅基薄膜太阳能电池的前电极，增加对光线的吸收量，提高了硅基薄膜太阳能电池的光电转换效率。

主权项

一种硅基薄膜太阳能电池用绒面AZO薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下主要步骤：（1）取石英砂粉末与水混合并搅拌均匀，配制成石英砂粉末水溶液作为刻蚀玻璃的腐蚀液，简称石英砂腐蚀液；（2）将上述石英砂腐蚀液通过喷头喷射到清洗干净的玻璃基片上进行刻蚀，控制石英砂腐蚀液的流速为0.1～1m/s，刻蚀时间为5～10分钟；（3）在刻蚀完成的玻璃基片上采用射频磁控溅射技术制备AZO薄膜，得到的AZO薄膜即为绒面AZO薄膜。