[发明专利]一种多晶硅大坩埚及其涂层浆料、涂层制备方法无效
| 申请号： | 201210353231.1 | 申请日： | 2012-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN102877126A | 公开（公告）日： | 2013-01-16 |
| 发明（设计）人： | 高世超;杨大军;王五广 | 申请（专利权）人： | 蠡县英利新能源有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06;C04B35/66 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 魏晓波 |
| 地址： | 071400 河北省*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多晶硅大坩埚，包括坩埚本体和附着于所述坩埚本体的坩埚涂层，所述坩埚涂层的喷涂浆料由氮化硅、水及硅溶胶制成，所述氮化硅的重量百分比为15%-23%、所述水的重量百分比为60%-70%、所述硅溶胶的重量百分比为15%-18%。该坩埚的涂层坚硬度和耐高温性能得以显著提高，可满足大坩埚铸锭对涂层质量的要求。本发明还公开了一种多晶硅大坩埚涂层和多晶硅大坩埚涂层制备方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 坩埚 及其 涂层 浆料 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种多晶硅大坩埚，包括坩埚本体和附着于所述坩埚本体的坩埚涂层，其特征在于，所述坩埚涂层的喷涂浆料由氮化硅、水及硅溶胶制成。
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