[发明专利]水蒸气阻挡膜形成用蒸镀材及成膜方法以及水蒸气阻挡膜无效
| 申请号： | 201210359418.2 | 申请日： | 2012-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN103173717A | 公开（公告）日： | 2013-06-26 |
| 发明（设计）人： | 吉田勇气;樱井英章 | 申请（专利权）人： | 三菱综合材料株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C23C14/24;B32B9/04 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 康泉;王珍仙 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于形成同时具备无色透明性和较高的水蒸气阻挡性两者的水蒸气阻挡膜的蒸镀材及其成膜方法以及通过该方法成膜的水蒸气阻挡膜。本发明的水蒸气阻挡膜形成用蒸镀材由纯度为98％以上且小于100％的第1氧化物和纯度为98％以上且小于100％的第2氧化物构成，其特征在于，上述第1氧化物为WO3，上述第2氧化物为ZnO或SiO中的至少一方，将上述第1氧化物和第2氧化物的含有摩尔量分别设为X摩尔、Y摩尔时，组成比为0.05≤X摩尔/（X摩尔＋Y摩尔）≤0.95。 | ||
| 搜索关键词： | 水蒸气 阻挡 形成 用蒸镀材 方法 以及 | ||
【主权项】：
一种水蒸气阻挡膜形成用蒸镀材，由纯度为98％以上且小于100％的第1氧化物和纯度为98％以上且小于100％的第2氧化物构成，其中，所述第1氧化物为WO3，所述第2氧化物为ZnO或SiO中的至少一方，将所述第1氧化物和所述第2氧化物的含有摩尔量分别设为X摩尔、Y摩尔时，组成比为0.05≤X摩尔/（X摩尔＋Y摩尔）≤0.95。
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