[发明专利]涡轮分子泵装置有效
| 申请号： | 201210359676.0 | 申请日： | 2012-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN103104512A | 公开（公告）日： | 2013-05-15 |
| 发明（设计）人： | 筒井慎吾 | 申请（专利权）人： | 株式会社岛津制作所 |
| 主分类号： | F04D19/04 | 分类号： | F04D19/04 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人： | 寿宁;张华辉 |
| 地址： | 日本京都府京都*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的课题在于使一体地安装在涡轮分子泵上的控制单元小型化、或者降低制造成本。上壳体(12)通过插入到法兰盘(12a)的贯通孔(51)中的紧固部件(61)而紧固在外部装置的第一安装部件(91)上。紧固在上壳体(12)上的第一基座(14)通过插入到法兰盘(14b)的贯通孔(52)中的紧固部件(63)而紧固在外部装置的第二安装部件(92)上。控制单元(70)通过紧固部件(65)而紧固在第二基座(15)上。由于转子(30)破坏时的扭矩不作用在紧固部件(65)上，所以可使紧固部件(65)及控制单元(70)的壳体的强度较小。 | ||
| 搜索关键词： | 涡轮 分子 装置 | ||
【主权项】：
一种涡轮分子泵装置，其特征在于包括：涡轮分子泵，包含壳体部件、与收纳在所述壳体部件内的转子，使所述转子高速旋转而将气体分子从所述壳体部件的进风口输送到出风口；及控制单元，驱动控制所述涡轮分子泵；且在所述壳体部件中形成着设置在所述进风口的一侧且用来安装在外部装置上的第一安装部、与设置在所述出风口的一侧且用来安装在外部装置上的第二安装部；所述涡轮分子泵和所述控制单元是通过紧固部件而固定。
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