[发明专利]基于剪切散斑干涉的光学离面位移场测量装置及测量方法

摘要

本发明公开了一种基于剪切散斑干涉的光学离面位移场测量装置，包括设有镜头、光圈调节装置和聚焦调节装置的摄像机、第一半透半反镜、第二半透半反镜、第三半透半反镜、第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜、压电陶瓷器、电压控制器和计算机。同时，本发明还公开了一种基于剪切散斑干涉的光学离面位移场测量装置的测量方法，包括以下步骤：步骤1.调试测试装置；步骤2.在被测样品发生变形前，采集相移图；步骤3.在被测样品发生变形后，采集相移图；步骤4.测量离面位移梯度场；步骤5.测量出离面位移场。使用该测量装置进行光学离面位移场测量，可以使被测样品表面无损、全场测量、分辨率高、测量结果稳定，且便于现场测量。

主权项

一种基于剪切散斑干涉的光学离面位移场测量装置，其特征在于，该测量装置包括设有镜头、光圈调节装置和聚焦调节装置的摄像机（1）、第一半透半反镜（2）、第二半透半反镜（3）、第三半透半反镜（4）、第一反射镜（5）、第二反射镜（6）、第三反射镜（7）、压电陶瓷器（8）、电压控制器（9）和计算机（10）；其中，第一半透半反镜的第一侧面（201）与摄像机（1）的镜头相对；第一半透半反镜的第二侧面（202）与第二半透半反镜的第四侧面（304）相对，第一半透半反镜的第三侧面（203）与第三半透半反镜的第一侧面（401）相对，第一半透半反镜的第一侧面（201）和第一半透半反镜的第三侧面（203）为第一半透半反镜（2）相对的两个侧面，第一半透半反镜（2）的反射面的一个端部位于第一半透半反镜的第三侧面（203）和第一半透半反镜的第二侧面（202）连接处，第一半透半反镜（2）的反射面的另一个端部位于第一半透半反镜的第一侧面（201）和第一半透半反镜的第四侧面（204）连接处；第二半透半反镜的第二侧面（302）与第二反射镜（6）相对，第二反射镜（6）与第二半透半反镜（3）之间设有第二开关（12），第二半透半反镜的第一侧面（301）与第一反射镜（5）相对，第一反射镜（5）与第二半透半反镜（3）之间设有第一开关（11）；第二半透半反镜的第四侧面（304）和第二半透半反镜的第二侧面（302）为第二半透半反镜（3）相对的两个侧面；第二半透半反镜（3）的反射面的一个端部位于第二半透半反镜的第三侧面（303）和第二半透半反镜的第四侧面（304）连接处，第二半透半反镜（3）的反射面的另一个端部位于第二半透半反镜的第一侧面（301）和第二半透半反镜的第二侧面（302）连接处；第三半透半反镜的第三侧面（403）与第三反射镜（7）相对，第三半透半反镜的第一侧面（401）和第三半透半反镜的第三侧面（403）为第三半透半反镜（4）相对的两个侧面，第三反射镜（7）背离第三半透半反镜（4）的一面设有压电陶瓷器（8），压电陶瓷器（8）与电压控制器（9）通过导线连接，电压控制器（9）与计算机（10）连接，摄像机（1）与计算机（10）连接。