[发明专利]激光输出调整装置及方法有效
| 申请号： | 201210361905.2 | 申请日： | 2012-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN103028840A | 公开（公告）日： | 2013-04-10 |
| 发明（设计）人： | 郑薰;尹星进;金俊来;李伦在;金铉洙;池泳洙 | 申请（专利权）人： | 灿美工程股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/06 | 分类号： | B23K26/06 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 姜虎;陈英俊 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明涉及激光输出调整装置及方法。激光输出调整装置包括：激光部（100），生成激光光束（10）；光学部（200），提供激光光束（10）经过的路径；加工部（300），使经过光学部（200）的激光光束（10）照射到基板（20）；第一测定部（400），设置于激光部（100）和光学部（200）之间，测定生成于激光部（100）的激光光束（10）的输出能量；第二测定部（500），设置于光学部（200）的内部，测定经过光学部（200）的激光光束（10）的输出能量；控制部（600），接收第一测定部（400）和第二测定部（500）所测定的激光光束（10）的输出信号，并将信号传送到激光部（100），以调整生成在激光部（100）的激光光束（10）的输出能量。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 输出 调整 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种激光输出调整装置，其特征在于，包括：激光部，生成激光光束；光学部，提供所述激光光束经过的路径；加工部，使经过所述光学部的激光光束照射到基板上；第一测定部，设置于所述激光部与所述光学部之间，测定生成于所述激光部的激光光束的输出能量；第二测定部，设置于所述光学部的内部，测定经过所述光学部的激光光束的输出能量；控制部，接收由所述第一测定部和所述第二测定部测定的激光光束的输出信号，将信号传送到所述激光部，从而调整生成于所述激光部的激光光束的输出能量。
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