[发明专利]有机电致发光显示装置的制造方法

摘要

本发明涉及一种有机电致发光显示装置的制造方法。提供使得能够制造抑制显示故障的高分辨率有机电致发光显示装置的有机电致发光显示装置的制造方法。有机电致发光显示装置的制造方法包括各自包含至少包含发光层的有机化合物层的多个有机电致发光元件，该方法包括：在基板上形成有机化合物层；在有机化合物层上依次形成中间层和抗蚀剂层；通过光刻方法去除抗蚀剂层的一部分；和通过干式蚀刻选择性地去除抗蚀剂层的所述一部分被去除了的区域中的中间层和有机化合物层，遮光层具有阻挡具有大于或等于190nm且小于或等于360nm的波长的光的功能。

主权项

一种有机电致发光显示装置的制造方法，所述有机电致发光显示装置包括多个有机电致发光元件，所述多个有机电致发光元件各自包含有机化合物层，所述有机化合物层至少包含发光层，该方法包括：在基板上形成有机化合物层；在所述有机化合物层上依次形成中间层和抗蚀剂层；通过光刻方法去除抗蚀剂层的一部分；以及通过干式蚀刻选择性地去除抗蚀剂层的所述一部分被去除了的区域中的中间层和有机化合物层，其中，中间层至少包含遮光层，并且，遮光层具有阻挡具有大于或等于190nm且小于或等于360nm的波长的光的功能。