[发明专利]基于动态纳米刻划技术制作滚筒压模的方法有效
申请号: | 201210363707.X | 申请日: | 2012-09-26 |
公开(公告)号: | CN102866579A | 公开(公告)日: | 2013-01-09 |
发明(设计)人: | 高育龙;崔铮 | 申请(专利权)人: | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
主分类号: | G03F7/00 | 分类号: | G03F7/00;B82Y40/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215123 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种基于动态纳米刻划技术制作滚筒压模的方法,将具有纳米结构的平面压模与待加工滚筒表面接触,利用平面压模的断开面的边缘在待加工滚筒表面刻划出纳米尺度的线栅。本发明还公开了一种平面压模的制作方法。本发明的方法中产生的线条宽度可以达到纳米级,并且在滚筒上进行的压模,使生产中成本降低,并且可以实现连续生产的显著优势;通过将小面积纳米级模板,放大成大面积的纳米级模板,解决了大面积纳米级模具制备难得问题。 | ||
搜索关键词: | 基于 动态 纳米 刻划 技术 制作 滚筒 方法 | ||
【主权项】:
一种基于动态纳米刻划技术制作滚筒压模的方法,其特征在于:将具有纳米结构的平面压模与待加工滚筒表面接触,利用平面压模的断开面的边缘在待加工滚筒表面刻划出纳米尺度的线栅。
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