[发明专利]基板的槽加工装置

摘要

一种基板的槽加工装置，在使工具往复移动来进行槽加工的装置中，抑制工具的偏向，能够以高精度加工槽。该槽加工装置使在移动方向的两端具有刃的槽加工工具(2)沿基板的划线往复移动而在基板上形成槽，所述基板的槽加工装置具备：工作台(1)，其用于载置基板；头部(3)，槽加工工具装配于该头部；以及移动支承机构(6)，其用于使工作台和头部在水平面内相对地移动。头部具有能够上下移动的保持器(17)、摆动部件(18)和偏向限制机构。摆动部件保持槽加工工具，由保持器支承成以与移动方向正交的摆动轴为支点摆动自如并能够达到前往移动位置和返回移动位置。偏向限制机构限制前往移动位置和返回移动位置的摆动部件向摆动轴方向的偏向。

主权项

一种基板的槽加工装置，所述基板的槽加工装置使在移动方向的两端具有刃的槽加工工具沿基板的划线往复移动，从而在基板上形成槽，其中，所述基板的槽加工装置具备：工作台，所述工作台用于载置基板；头部，所述槽加工工具装配于该头部；以及移动机构，所述移动机构用于使所述工作台和所述头部在水平面内相对地移动，所述头部具有：保持器，所述保持器能够上下移动；摆动部件，所述摆动部件保持所述槽加工工具，并且所述摆动部件由所述保持器支承成以与所述移动方向正交的摆动轴为支点摆动自如，并且所述摆动部件能够达到前往移动位置和返回移动位置；以及偏向限制机构，所述偏向限制机构用于限制所述前往移动位置和所述返回移动位置的所述摆动部件向所述摆动轴方向的偏向。