[发明专利]炉体排风控制装置有效
| 申请号： | 201210365936.5 | 申请日： | 2012-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN102889791A | 公开（公告）日： | 2013-01-23 |
| 发明（设计）人： | 孙少东;董金卫;赵燕平;钟华 | 申请（专利权）人： | 北京七星华创电子股份有限公司 |
| 主分类号： | F27D19/00 | 分类号： | F27D19/00 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 韩国胜 |
| 地址： | 100015 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体工艺热处理领域，尤其是涉及一种炉体排风控制装置，包括气压驱动单元、开关机构和风口结构单元，所述的开关机构设置有开关主体，所述的气压驱动单元可驱动该开关主体，使该开关主体直线往复运动，从而执行对风口结构单元的开启和关闭动作。本发明对炉体排风的开关机构进行有效控制，使炉体排风控制可靠安全；同时能够有效阻挡炉体热量的逸出，具有良好的隔热效果；本发明的炉体排风控制装置结构简单，能够进行精确运作，且成本较低。 | ||
| 搜索关键词： | 炉体排风 控制 装置 | ||
【主权项】：
一种炉体排风控制装置，其特征在于，其包括气压驱动单元、开关机构和风口结构单元，所述的开关机构设置有开关主体，所述的气压驱动单元可驱动该开关主体，使该开关主体直线往复运动，从而执行对风口结构单元的开启和关闭动作。
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