[发明专利]用于半导体制造的泵抽吸端口的遮挡盖有效
| 申请号： | 201210366180.6 | 申请日： | 2012-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN102865250A | 公开（公告）日： | 2013-01-09 |
| 发明（设计）人： | 包中诚;陈超 | 申请（专利权）人： | 上海宏力半导体制造有限公司 |
| 主分类号： | F04D29/52 | 分类号： | F04D29/52;F04D19/04 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 郑玮 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种用于半导体制造的泵抽吸端口的遮挡盖。用于半导体制造的半导体制造设备包括涡轮分子泵、涡轮泵阀门、泵抽吸端口；其中，所述涡轮分子泵通过所述涡轮泵阀门与泵抽吸端口相连。所述泵抽吸端口遮挡盖用于盖在半导体制造装置腔体内的泵抽吸端口上。所述泵抽吸端口遮挡盖包括：环形侧壁、以及布置在环形侧壁外周的密封圈。根据本发明，在泵抽吸端口上安装了泵抽吸端口遮挡盖，使聚合物粘附在泵抽吸端口遮挡盖内壁，而不会粘附在泵抽吸端口上。由此，在保养中只需向上取出泵抽吸端口遮挡盖，再对泵抽吸端口遮挡盖进行清洗即可，由此节省了时间和人力，保证了涡轮分子泵的使用寿命并保证了产品良率。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 半导体 制造 抽吸 端口 遮挡 | ||
【主权项】：
一种用于半导体制造的泵抽吸端口的遮挡盖，其中用于半导体制造的半导体制造设备包括涡轮分子泵、涡轮泵阀门、泵抽吸端口；其中，所述涡轮分子泵通过所述涡轮泵阀门与泵抽吸端口相连，其特征在于包括：所述泵抽吸端口遮挡盖用于盖在半导体制造装置腔体内的泵抽吸端口上。
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