[发明专利]一种触摸屏用ITO靶材的生产方法有效
| 申请号： | 201210366657.0 | 申请日： | 2012-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN103693945A | 公开（公告）日： | 2014-04-02 |
| 发明（设计）人： | 阮敦邵;熊爱臣;赵明勇;徐灿辉 | 申请（专利权）人： | 柳州华锡铟材料有限责任公司 |
| 主分类号： | C04B35/01 | 分类号： | C04B35/01;C04B35/622 |
| 代理公司： | 柳州市荣久专利商标事务所(普通合伙) 45113 | 代理人： | 周小芹 |
| 地址： | 545006 广西*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | 一种触摸屏用ITO靶材的生产方法，涉及一种ITO靶材的生产方法，以4N级（99.99%）铟锭和分析纯级结晶四氯化锡为原料，按配比计算出需要的用量，通过化学共沉淀、脱水、煅烧及球磨的现有工序制备In2O3:SnO2=97:3（wt%）、纯度≥99.99%、粒度为0.6～1.0µm的ITO粉；再对ITO粉经冷压成型为冷压坯；再将冷压坯装在石墨模具内置于真空-气氛热压烧结炉中烧结，得到ITO靶材，本发明制备的ITO靶材完整致密无内部裂纹，本发明方法简单，便于推广使用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 触摸屏 ito 生产 方法 | ||
【主权项】：
一种触摸屏用ITO靶材的生产方法，其特征在于：包括下述步骤：A.制备ITO粉：以铟锭和四氯化锡为原料，通过化学共沉淀、脱水、煅烧及球磨的工序制备得到重量百分比In2O3:SnO2=97:3 、纯度≥99.99%、粒度为0.6～1.0µm 的ITO粉；其中，所述的铟锭为4N级铟锭，所述的四氯化锡为分析纯级结晶四氯化锡；B.制备冷压坯：将上述步骤A中所得的ITO粉经44～50MPa压力下冷压成型为冷压坯；C.制备ITO靶材：将上述步骤B中所得到的冷压坯装在石墨模具内置于真空‑气氛热压烧结炉中烧结，制得ITO靶材，其中，烧结时真空‑气氛热压烧结炉内的真空度为1.0×10‑1Pa以上。
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