[发明专利]平整度检测装置及其检测方法

摘要

一种平整度检测装置，包括一承载平台、一发光模块、一光接收模块、一图像处理模块以及一比对模块。承载平台具有一平面，用以承载一待测物以及供一光线穿透。发光模块配置于承载平台中，并朝平面发出光线。光线由待测物靠近此平面的侧边与此平面间射出而产生一检测光。光接收模块位于承载平台的一侧，用以接收检测光，并产生一图像信号。图像处理模块用以处理图像信号，以测量待测物靠近此平面的侧边与平面间的一间隙高度。比对模块根据间隙高度与一标准值的比对结果，输出一检测信号，以判断间隙高度是否符合标准。

主权项

一种平整度检测装置，包括：一承载平台，具有一平面，用以承载一待测物以及供一光线穿透；一发光模块，配置于该承载平台中，用以发出该光线，该光线由该待测物靠近该平面的侧边与该平面间射出而产生一检测光；一光接收模块，位于该承载平台的一侧，用以接收该检测光，并产生一图像信号；以及一图像处理模块，用以接收并处理该图像信号，以测量该待测物靠近该平面的侧边与该平面间的一间隙高度，该图像处理模块连接一比对模块，该比对模块根据该间隙高度与一标准值的比对结果，输出一检测信号，以判断该间隙高度是否符合标准。