[发明专利]激光加工装置

摘要

一种激光加工装置。通过简单的处理，使基板上的激光束的强度在光束的长度方向或光束的宽度方向上变得均匀。该激光加工装置具有：激光振荡器（11）；工作台（1），其放置玻璃基板；第1非球面柱面透镜（14），其控制与刻划预定线垂直的方向上的光束宽度；第2非球面柱面透镜（15），其控制光束长度；冷却喷嘴（3）；以及工作台驱动机构（4），其用于扫描激光束和冷却喷嘴（3）。第1和第2非球面柱面透镜（14、15）使入射的具有高斯型强度分布的激光束的强度分布在玻璃基板上的光束宽度方向和光束长度方向上变得均匀。

主权项

一种激光加工装置，其沿着刻划预定线照射激光束，在脆性材料基板的表面形成刻划槽，该激光加工装置具有：工作台，其放置待加工的脆性材料基板；激光束出射装置，其射岀具有高斯型强度分布的激光束；第1透镜，其控制与所述刻划预定线垂直的方向上的光束宽度；第2透镜，其控制沿着所述刻划预定线的方向上的光束长度；冷却装置，其对脆性材料基板的被所述激光束加热的区域进行冷却；以及扫描机构，其用于使激光束和所述冷却装置对放置在所述工作台上的脆性材料基板进行相对扫描，所述第1透镜和所述第2透镜中的至少一方是使所入射的具有高斯型强度分布的激光束的强度分布在脆性材料基板的光束宽度方向上或光束长度方向上变得均匀的非球面柱面透镜。