[发明专利]双材料微悬臂梁、电磁辐射探测器以及探测方法有效
| 申请号： | 201210371261.5 | 申请日： | 2012-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN102874735A | 公开（公告）日： | 2013-01-16 |
| 发明（设计）人： | 姜利军 | 申请（专利权）人： | 姜利军 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;G01J5/02;G01J5/40 |
| 代理公司： | 上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) 31218 | 代理人： | 孙佳胤 |
| 地址： | 310053 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种双材料微悬臂梁、电磁辐射探测器以及探测方法。所述双材料微悬臂梁，设置于一衬底表面，包括：微悬臂梁主体；第一应力凸块，所述第一应力凸块设置在微悬臂梁主体的靠近衬底一侧的表面上，并且所述第一应力凸块的热膨胀系数大于所述微悬臂梁主体的热膨胀系数，或者所述第一应力凸块设置在微悬臂梁主体的远离衬底一侧的表面上，并且所述第一应力凸块的热膨胀系数小于所述微悬臂梁主体的热膨胀系数；加热器，所述加热器设置在悬臂梁主体内。本发明的优点在于，通过在悬臂梁上设置加热器，并通过对每个微悬臂梁单独提供不同的加热温度，对微悬臂梁之间的响应率和灵敏度的非均匀性加以校正。 | ||
| 搜索关键词： | 材料 悬臂梁 电磁辐射 探测器 以及 探测 方法 | ||
【主权项】：
一种双材料微悬臂梁，设置于一衬底表面，其特征在于，包括：微悬臂梁主体；第一应力凸块，所述第一应力凸块设置在微悬臂梁主体的靠近衬底一侧的表面上，并且所述第一应力凸块的热膨胀系数大于所述微悬臂梁主体的热膨胀系数，或者所述第一应力凸块设置在微悬臂梁主体的远离衬底一侧的表面上，并且所述第一应力凸块的热膨胀系数小于所述微悬臂梁主体的热膨胀系数；加热器，所述加热器设置在悬臂梁主体内，用于加热所述悬臂梁主体以及所述第一应力凸块，所述加热器进一步设置至少两引脚，所述引脚用于同外界形成电学连接。
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