[发明专利]钨钛合金板的加工方法有效

专利信息
申请号: 201210376752.9 申请日: 2012-09-29
公开(公告)号: CN103707003B 公开(公告)日: 2017-03-15
发明(设计)人: 姚力军;相原俊夫;大岩一彦;潘杰;王学泽;龚祖光 申请(专利权)人: 宁波江丰电子材料股份有限公司
主分类号: B23P15/00 分类号: B23P15/00
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司11227 代理人: 骆苏华
地址: 315400 浙江省宁波市余姚*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明公开了一种钨钛合金板的加工方法,包括对钨钛合金板的上下平面进行粗磨处理;对所述钨钛合金板的侧面进行线切割处理;对所述钨钛合金板的上下平面和侧面进行精磨处理。本发明实施例所提供的钨钛合金板的加工方法,考虑到钨钛合金具有质脆的特性,对钨钛合金板进行加工时,采用先粗磨上下平面,再线切割侧面,最后再精磨上下平面和侧面的分步方式进行加工,使得钨钛合金板逐步达到所需要求,从而避免了先前单一步骤的加工方式导致钨钛合金板在加工过程中容易出现掉角现象的问题。
搜索关键词: 钛合金 加工 方法
【主权项】:
一种钨钛合金板的加工方法,其特征在于,包括:对钨钛合金板的上下平面进行粗磨处理;在所述粗磨处理后,对所述钨钛合金板的侧面进行线切割处理;在所述线切割处理后,对所述钨钛合金板的上下平面和侧面进行精磨处理;在对所述钨钛合金板的侧面进行线切割处理之后且在对所述钨钛合金板的侧面进行所述精磨处理之前,先对所述钨钛合金板的侧面进行半精磨处理;将所述钨钛合金板作为溅射靶材。
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