[发明专利]光刻胶成膜树脂及其制备方法有效
| 申请号： | 201210379544.4 | 申请日： | 2012-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN102890418A | 公开（公告）日： | 2013-01-23 |
| 发明（设计）人： | 刘陆;薛建设;惠官宝 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/039;C08F220/36;C08F220/34;C08F232/04;C08F220/06;C08F220/14 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种光刻胶成膜树脂及其制备方法，属于微电子加工领域，为解决现有技术中以酚醛树脂作为光刻胶成膜树脂时，玻璃化转变温度较低，不适于高温加工的问题而设计。一种光刻胶成膜树脂，由式（1）所示的单体A、式（2）所示的单体B和式（3）所示的单体C聚合而成； |
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| 搜索关键词： | 光刻 胶成膜 树脂 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种光刻胶成膜树脂，其特征在于，由式（1）所示的单体A、式（2）所示的单体B和式（3）所示的单体C聚合而成；![]()
其中，所述单体A的物质的量的百分比为20%-60%；所述单体B的物质的量的百分比为20%-60%；所述单体C的物质的量的百分比为10%-60%；所述n为1-10的整数。
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