[发明专利]金红石结构氧化钛的制备方法及其叠层结构有效
| 申请号： | 201210379786.3 | 申请日： | 2012-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN103208477A | 公开（公告）日： | 2013-07-17 |
| 发明（设计）人： | 谢君毅;威斯瓦那斯·保哈;詹妮佛·西格曼;瓦西尔·安托诺夫;徐薇惠 | 申请（专利权）人： | 南亚科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/522 | 分类号： | H01L23/522;H01L23/532;H01L21/02;C01G23/047 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 冯志云;郑特强 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明揭示形成一种金红石结构氧化钛的叠层结构及其制备方法，其包含形成一氧化钌层于一基板上；形成一氧化镨层于该氧化钌层上；形成一氧化钛层于该氧化镨层上；其中形成于该氧化镨层上的氧化钛层具有一金红石结构。该氧化层是由多个原子层沉积周期而形成，其中该原子层沉积周期使用含有钌的前驱物、镨的前驱物、钛的前驱物以及臭氧。 | ||
| 搜索关键词： | 金红石 结构 氧化 制备 方法 及其 | ||
【主权项】：
一种金红石结构氧化钛的叠层结构，其特征在于，包含：一基板；一第一氧化层，叠置于该基板上；一第二氧化层，叠置于该第一氧化层上，该第二氧化层包含氧化镨；以及一第三氧化层，叠置于该第二氧化层上，该第三氧化层包含氧化钛。
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