[发明专利]化学气相沉积设备的红外辐射测温校准装置及其校准方法

摘要

本发明公开了一种化学气相沉积设备的红外辐射测温校准装置及其校准方法，校准装置的可以透光的光学检测孔设置在喷淋盘中，红外辐射温度测试仪与设置在喷淋盘中的光学检测孔对应设置，光纤或光线束通过黑体炉端夹具和检测孔端夹具固定并连接在黑体炉和光学检测孔之间。通过光纤或光纤束将黑体炉的红外辐射引入金属有机物化学气相沉积设备的喷淋盘的光学检测口，对喷淋盘上方的红外辐射测温仪进行在线标定校准。本发明结构简单，可消除由于红外辐射测温仪系统本身的系统误差、装配因素导致的温度差异，使各个红外辐射测温仪测试的相对温度更为准确，以便载片盘表面的温度均匀性调节。解决了金属有机物化学气相沉积设备的温度校准难题。

主权项

一种化学气相沉积设备的红外辐射测温校准装置，包括红外辐射温度测试仪（4）、光学检测孔（3）、黑体炉（10）、光纤或光线束（8），检测孔端夹具（7）及黑体炉端夹具（9），其特征在于光学检测孔（3）为可以透光的，光学检测孔（3）设置在喷淋盘（1）中，红外辐射温度测试仪（4）与设置在喷淋盘（1）中的可以透光的光学检测孔（3）对应设置，光纤或光线束（8）通过黑体炉端夹具（9）和检测孔端夹具（7）固定并连接在黑体炉（10）和光学检测孔（3）之间。