[发明专利]等离子体反应机台有效
| 申请号： | 201210381362.0 | 申请日： | 2012-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN102856151A | 公开（公告）日： | 2013-01-02 |
| 发明（设计）人： | 杨总胜;王春盛;江舜彦 | 申请（专利权）人： | 友达光电股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 张艳杰;张浴月 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种等离子体反应机台，包含：腔体、平台及缓冲组件。腔体具有容置空间；平台，设置于腔体内；缓冲组件，设置于腔体内且邻近平台的侧边，缓冲组件与平台共同将容置空间区隔为第一空间与第二空间，并且部分与侧边形成气体通道，气体通道由第一空间朝第二空间的方向呈渐扩状而连通第一空间与第二空间。本发明以缓冲组件将腔体内的容置空间区隔为第一空间及第二空间，并以缓冲组件与平台的侧边界定出气体通道，其中，气体通道由第一空间朝第二空间的方向为渐扩状，使得气体易于由第二空间向第一空间流动，但却较难反向流动，因此，当空气反向流动时，工艺生成物堆积于缓冲组件的本体部处，而不会累积于平台上。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 反应 机台 | ||
【主权项】：
一种等离子体反应机台，包含：一腔体，具有一容置空间；一平台，设置于该腔体内；及一缓冲组件，设置于该腔体内且邻近该平台的一侧边，该缓冲组件与该平台共同将该容置空间区隔为一第一空间与一第二空间，并且该缓冲组件部分与该侧边形成一气体通道，该气体通道由该第一空间朝该第二空间的方向呈渐扩状而连通该第一空间与该第二空间。
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