[发明专利]一种微流控器件及其制备方法有效
| 申请号： | 201210381369.2 | 申请日： | 2012-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN102896007A | 公开（公告）日： | 2013-01-30 |
| 发明（设计）人： | 傅邱云;周东祥;罗为;龚树萍;胡云香;郑志平;刘欢;赵俊 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | B01L3/00 | 分类号： | B01L3/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人： | 朱仁玲 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微流控器件及其制备方法；微流控器件包括衬底、涂覆于衬底上的缓冲层、附着于缓冲层上的压电层、光刻于压电层上的电极层、涂覆于电极层上的介质层以及涂覆于介质层上的疏水层；电极层中的电极包括网状电极以及多个均匀排列分布于所述网状电极的四周的叉指换能器；网状电极由互相连接的电极块组成。叉指换能器的电极结构可以是单叉指、双叉指或SPUDT结构。本发明提供的微流控器件集成了声波驱动和EWOD两种驱动方式，可降低液滴驱动电压和声波驱动功率，更有效简化芯片制作工艺，降低制造成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微流控 器件 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种微流控器件，其特征在于，包括衬底、涂覆于所述衬底上的缓冲层、附着于所述缓冲层上的压电层、光刻于所述压电层上的电极层、涂覆于所述电极层上的介质层以及涂覆于所述介质层上的疏水层。
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