[发明专利]表面介质阻挡放电等离子体单元和产生表面等离子体的方法有效
| 申请号： | 201210382439.6 | 申请日： | 2007-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN102892248A | 公开（公告）日： | 2013-01-23 |
| 发明（设计）人： | 伊夫·洛德韦克·马里亚·克雷格托恩;马塞尔·希莫尔;蒂莫·胡伊斯尔 | 申请（专利权）人： | 荷兰应用科学研究会(TNO) |
| 主分类号： | H05H1/24 | 分类号： | H05H1/24 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 张英;荣文英 |
| 地址： | 荷兰代*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 本发明涉及一种表面介质阻挡放电等离子体单元。该单元包括具有其中布置有内部电极的内部空间的固体介电结构。而且，该单元包括用于与内部电极合作地产生表面介质阻挡放电等离子体的另一电极。该单元还具有沿所述结构表面的气体流路。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 介质 阻挡 放电 等离子体 单元 产生 方法 | ||
【主权项】：
一种表面介质阻挡放电等离子体单元，包括固体介电结构，所述固体介电结构具有其中布置有内部电极的内部空间，所述表面介质阻挡放电等离子体单元进一步包括用于与所述内部电极合作地产生表面介质阻挡放电等离子体的外部电极，其中所述等离子体单元进一步具有沿着所述结构的表面的气体流路并且其中所述气体流路相对于所述固体介电结构的处理平面大致横向地定向，其中所述固体介电结构基本上具有细长的形状，其具有外部处理表面以及从所述外部处理表面延伸的外侧表面，沿着所述外侧表面定位所述气体流路的至少一部分，并且其中固体介电结构基本为板形，所述结构具有狭缝，所述气体流路延伸通过所述狭缝。
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