[发明专利]一种将气体微流量校准下限延伸至10-14Pam3/s的系统及方法

摘要

本发明涉及一种将气体微流量校准下限延伸至10-14Pam3/s的系统及方法，用于真空漏孔、检漏仪及气体微流量计的校准和测试。该系统包括：机械泵、两个电磁阀六个真空阀门、两个分子泵、质谱分析室、小孔、两个消气剂泵、稳压室、三个真空规、储气瓶、微调阀、四极质谱计；采用消气剂泵对稳压室进行抽气，消除了稳压室器壁释放出的非惰性气体对压力测量的影响，采用磁悬浮转子规精确测量稳压室中气体压力P，稳压室中的气体通过已知流导小孔连续膨胀引入质谱分析室中，校准采用累积法实现，解决了10-11～10-14Pam3/s范围内极小气体微流量的测量与校准技术。

主权项

一种将气体微流量校准下限延伸至10‑14Pam3/s的系统，其特征在于，该系统包括：第一机械泵(1)、第二机械泵(14)、第一电磁阀(2)、第二电磁阀(13)、第一真空阀门(4)、第二真空阀门(7)、第三真空阀门(11)、第四真空阀门(17)、第五真空阀门(21)、第六真空阀门(24)、第一分子泵(3)、第二分子泵(12)、质谱分析室(5)、小孔(6)、第一消气剂泵(8)、第二消气剂泵(23)、稳压室(10)、第一真空规(9)、第二真空规(15)、第三真空规(22)、储气瓶(19)、微调阀(20)、四极质谱计(16)和真空漏空(18)；在该系统中，第一机械泵(1)与第一电磁阀(2)连接，第一分子泵(3)一端与第一电磁阀(2)连接，另一端与第一真空阀门(4)连接；质谱分析室(5)上安装有第二真空规(15)、四极质谱计(16)，第二消气剂泵(23)通过第六真空阀门(24)与质谱分析室(5)连接，质谱分析室(5)的下端抽气口与第一真空阀门(4)连接，质谱分析室(5)的上端分别与小孔(6)、第四真空阀门(17)连接；第四真空阀门(17)的另一端与真空漏孔(18)连接；第二真空阀门(7)的一端与小孔(6)连接，另一端与微调阀(20)、稳压室(10)及第三真空规(22)连接，储气瓶(19)与微调阀(20)连接；稳压室(10)上有六个接口，分别与第一真空规(9)、微调阀(20)、第五真空阀门(21)、第三真空规(22)、第三真空阀门(11)及第二真空阀门(7)连接，第一消气剂泵(8)与第五真空阀门(21)连接；第二分子泵(12)两端分别与第三真空阀门(11)、第二电磁阀(13)连接，第二电磁阀(13)的另一端与第二接机械泵(14)连接。