[发明专利]一种制备三氯氢硅的工艺有效
| 申请号： | 201210383084.2 | 申请日： | 2012-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN103723734A | 公开（公告）日： | 2014-04-16 |
| 发明（设计）人： | 杨楠;王劭南 | 申请（专利权）人： | 浙江昱辉阳光能源有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 魏晓波 |
| 地址： | 314117 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种制备三氯氢硅的工艺，其包括以下步骤：将用于反应的液态四氯化硅进行汽化；将汽化后的氢气和四氯化硅按1:1-10:1的摩尔比通入到盘管氢化炉的反应盘管中，并在所述盘管氢化炉内的火焰加热下进行反应以生成三氯氢硅。将反应完成后的混合气体进行分离，并循环利用。本发明提供的制备三氯氢硅的工艺中使用盘管氢化炉作为主要反应装置，较大程度的提高了转化率，再通过对反应后的混合气体进行分离并循环利用，最大程度的提高了氢气和四氯化硅的利用率，减少了不必要的资源浪费，显著的降低了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制备 三氯氢硅 工艺 | ||
【主权项】：
一种制备三氯氢硅的工艺，其特征在于，包括以下步骤：11）将用于反应的液态四氯化硅进行汽化；12）将汽化后的氢气和四氯化硅按1:1‑10:1的摩尔比通入到盘管氢化炉（1）的反应盘管（2）中，并在所述盘管氢化炉（1）内的火焰加热下进行反应以生成三氯氢硅；13）将反应完成后的混合气体进行分离，并循环利用。
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