[发明专利]一种密闭腔体中的样品台

摘要

本发明提供一种密闭腔体中的样品台，包括：运动模块，其第一表面和第二表面上沿第一方向对应设置有第一导轨，第三表面和第四表面上沿第二方向对应设置有第二导轨，第一导轨与第二导轨之间有间隔；第一导向模块，具有沿第一方向设置的第三导轨，并与沿第二方向设置的第一传动杆的一端连接，所述第三导轨与第一导轨相配合；第二导向模块，具有沿第二方向设置的第四导轨，并与沿第一方向设置的第二传动杆的一端连接，所述第四导轨与第二导轨相配合；沿第三方向与运动模块相配合的样品头；连接样品头与第三传动杆的十字连接模块；所述导轨为交叉滚柱导轨，所述第一、第二以及第二传动杆的另一端置于密闭腔体外。该样品台保证密闭腔体的真空度。

主权项

一种样品台，置于密闭腔体中，其特征在于，包括：运动模块，所述运动模块包括相对设置的第一表面和第二表面，以及相对设置的第三表面和第四表面，第一表面和第二表面上沿第一方向对应设置有第一导轨，第三表面和第四表面上沿第二方向对应设置有第二导轨，第一导轨与第二导轨之间有间隔；第一导向模块，具有沿第一方向设置的第三导轨，并与沿第二方向设置的第一传动杆的一端连接，所述第三导轨与第一导轨相配合；第二导向模块，具有沿第二方向设置的第四导轨，并与沿第一方向设置的第二传动杆的一端连接，所述第四导轨与第二导轨相配合；样品头，所述样品头的一端置于运动模块内，沿第三方向与运动模块相配合；十字连接模块，具有第一随动模块、与第一随动模块相配合的沿第一方向设置的第一随动导轨以及第二随动模块、与第二随动模块相配合的沿第二方向设置的第二随动导轨，第一随动导轨与第二随动导轨固定连接，所述样品头的另一端与第一随动模块、第二随动模块二者中的一个沿第三方向固定连接，第一随动模块、第二随动模块二者中的另一个与沿第三方向设置的第三传动杆的一端固定连接；其中，第一方向、第二方向与第三方向相互正交，所述导轨为交叉滚柱导轨，所述第一传动杆、第二传动杆以及第三传动杆的另一端置于密闭腔体外，并分别连接位于密闭腔体外的驱动机构。