[发明专利]压印方法、压印装置和设备制造方法有效
| 申请号： | 201210385057.9 | 申请日： | 2012-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN103048878A | 公开（公告）日： | 2013-04-17 |
| 发明（设计）人： | 中川一树;长谷川敬恭;村上洋介;松本隆宏 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;H01L21/027 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 杨小明 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及一种压印方法、压印装置和设备制造方法。本发明的压印方法包括以下步骤：把基板保持在保持面上的保持步骤；使在基板上形成图案处的基板侧图案区的形状变形的变形步骤；使经变形的基板侧图案区上的树脂与模具接触的接触步骤；固化树脂的固化步骤；和使模具脱离与模具接触的树脂的脱模步骤。其中在变形步骤中，在沿着基板的表面的方向上对基板施加变形力，所述变形力大于作用于与基板侧图案区对应的基板的背面和所述保持面之间的最大静摩擦力。 | ||
| 搜索关键词： | 压印 方法 装置 设备 制造 | ||
【主权项】：
一种把在模具上形成的图案转印到基板上的树脂的压印方法，所述方法包括：把基板保持在保持面上的保持步骤；使在基板上形成图案处的基板侧图案区的形状变形的变形步骤；使经变形的所述基板侧图案区上的树脂与模具接触的接触步骤；固化树脂的固化步骤；和使模具脱离与模具接触的树脂的脱模步骤，其中在所述变形步骤中，在沿着基板的表面的方向上对基板施加变形力，所述变形力大于作用于与所述基板侧图案区对应的基板的背面和所述保持面之间的最大静摩擦力。
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