[发明专利]纳米级软性模具制作方法与装置有效
| 申请号： | 201210387170.0 | 申请日： | 2012-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN103135338A | 公开（公告）日： | 2013-06-05 |
| 发明（设计）人： | 许照林;裴克梅;郁建宏 | 申请（专利权）人： | 苏州富鑫林光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;G03F7/26;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京华夏博通专利事务所(普通合伙) 11264 | 代理人： | 孙东风;王锋 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种纳米级软性模具的制作方法与装置。该方法包括：（1）提供表面具有纳米级凹和/或凸图案的母模；（2）在母模表面施加光敏固化材料，再在母模上覆盖基材，而后使光敏固化材料填入所述图案内，并使基材与母模表面紧贴；（3）以具有设定波长的光线照射光敏固化材料使之固化成型；（4）将固化成型的光敏固化材料及基材与母模分离，获得目标产品。该装置包括：供料装置、滚压机构、脱模机构以及光源。本发明优选将纳米级母模进行纳米级图形转移至软性基材并成为软性模具，于大气环境中即可大量制作出纳米级软性模具，结构转写率>95%，可降低母模损坏风险与模具成本，产出的软性模具可应用于任一种属于压印方式的微纳米结构元件。 | ||
| 搜索关键词： | 纳米 软性 模具 制作方法 装置 | ||
【主权项】：
一种纳米级软性模具的制作方法，其特征在于，它包括：（1）提供表面具有纳米级凹和/或凸图案的母模；（2）在所述母模表面施加光敏固化材料，再在所述母模上覆盖基材，而后使光敏固化材料填入所述图案内，并使所述基材与母模表面紧贴；（3）以具有设定波长的光线照射光敏固化材料使之固化成型；（4）将固化成型的光敏固化材料及基材与母模分离，获得目标产品。
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