[发明专利]分度误差估计装置、分度误差校准装置和分度误差估计方法有效
| 申请号： | 201210387462.4 | 申请日： | 2012-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN102954815A | 公开（公告）日： | 2013-03-06 |
| 发明（设计）人： | 奈良正之 | 申请（专利权）人： | 株式会社三丰 |
| 主分类号： | G01D18/00 | 分类号： | G01D18/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 郭定辉 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 分度误差估计装置、分度误差校准装置和分度误差估计方法。用于分度误差校准装置的分度误差估计装置，所述分度误差校准装置具有由旋转轴支撑的光栅盘和布置在光栅盘上的至少四个检测器，所述分度误差估计装置包括检测值合成器，其通过将从所述至少四个检测器的每个获得的每个检测值乘以预定系数来计算线性和；以及傅里叶分量识别器，其使用所述线性和的傅里叶分量并识别所述分度误差的傅里叶分量。 | ||
| 搜索关键词： | 分度 误差 估计 装置 校准 方法 | ||
【主权项】：
一种用于分度误差校准装置的分度误差估计装置，所述分度误差校准装置具有由旋转轴支撑的光栅盘和布置在光栅盘上的至少四个检测器，所述估计装置包括：检测值合成器，被配置以通过将从所述至少四个检测器的每个获得的每个检测值乘以预定系数来计算线性和；以及傅里叶分量识别器，其使用所述线性和的傅里叶分量并且其被配置以识别所述分度误差的傅里叶分量。
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