[发明专利]用于切割硅锭的切割工艺无效

专利信息
申请号: 201210388924.4 申请日: 2012-10-12
公开(公告)号: CN102848481A 公开(公告)日: 2013-01-02
发明(设计)人: 崔盼;高世超;杨劲松 申请(专利权)人: 蠡县英利新能源有限公司
主分类号: B28D5/04 分类号: B28D5/04
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 罗满;魏晓波
地址: 071400 河北省*** 国省代码: 河北;13
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摘要: 发明公开一种用于切割硅锭的切割工艺,包括下述步骤:将硅锭粘结于托盘上;工作台的切割线网沿硅锭的高度方向对硅锭入刀切割,同时,浆料嘴为切割线网提供浆料;且自入刀开始,切割线网以前期切割速度切割,直至切割至硅锭的第一预定高度处;继续以中期切割速度切割,直至切割至硅锭的第二预定高度处;最后以后期切割速度直至切割完毕;其中,前期切割速度、后期切割速度均小于中期切割速度。本发明对切割速度实施分段调整,前期和后期切割的硬质部分采用偏小的前期切割速度和后期切割速度,以使切割线网所受的阻力能够得到较好的缓冲,防止断线;而切割硅锭中部软质部分时,以中期切割速度切割,中期切割速度较大可以保证切割效率。
搜索关键词: 用于 切割 工艺
【主权项】:
一种用于切割硅锭的切割工艺,其特征在于,包括下述步骤:将硅锭粘结于托盘上;工作台的切割线网沿硅锭的高度方向对硅锭入刀切割,同时,浆料嘴为切割线网提供浆料;且自入刀开始,工作台驱动切割线网以前期切割速度切割,直至切割至硅锭的第一预定高度处;继续以中期切割速度切割,直至切割至硅锭的第二预定高度处;最后以后期切割速度切割直至切割完毕;其中,前期切割速度、后期切割速度均小于中期切割速度。
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