[发明专利]一种高纯镓容器的清洗方法有效
申请号: | 201210389613.X | 申请日: | 2012-10-15 |
公开(公告)号: | CN102873047B | 公开(公告)日: | 2017-04-12 |
发明(设计)人: | 康云飞;乔文;钟晓露 | 申请(专利权)人: | 南京隆润半导体材料有限公司 |
主分类号: | B08B3/04 | 分类号: | B08B3/04;B08B3/08;B08B3/10;B08B3/12 |
代理公司: | 北京彭丽芳知识产权代理有限公司11407 | 代理人: | 彭晓云 |
地址: | 211511 江苏省南京市化学工业园新*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种高纯镓容器的清洗方法,其特征在于包括以下步骤(1)将高纯水加热至60℃‑80℃,浸泡容器15‑25分钟,摇床震荡,使得镓融化成为液态,此时有少量的液态镓会从容器上脱离;(2)用电子纯的强碱性的无机碱溶液,加热至60℃‑80℃,浸泡容器5‑15分钟,同时震荡10‑15分钟;(3)用高纯水冲洗已经没有粘附镓的容器;(4)用电子纯的强酸性的无机酸溶液,将已经冲洗好的容器全部浸没在容器中0.5‑2分钟;(5)用高纯水再次冲洗容器;(6)将容器干燥备用。本发明回收了高纯镓,节省了生产成本;简单易行;实现了容器的彻底清洗,使得容器可以循环使用。 | ||
搜索关键词: | 一种 高纯 容器 清洗 方法 | ||
【主权项】:
一种高纯镓容器的清洗方法,其特征在于包括以下步骤:(1)将高纯水加热至60℃‑80℃,浸泡容器15‑25分钟,震荡容器,使得镓融化成为液态,并有部分液态镓从容器上脱离;(2)将电子纯的强碱性的无机碱溶液加热至60℃‑80℃,浸泡容器5‑15分钟,同时震荡容器10‑15分钟,使液态镓全部自动的脱离容器壁;(3)用高纯水冲洗已经没有粘附镓的容器;(4)用电子纯的强酸性的无机酸溶液浸泡步骤(3)已经冲洗好的容器0.5‑2分钟;(5)用高纯水再次冲洗容器;(6)将容器干燥备用;所述高纯水的电阻率为18.0‑18.3单位MΩ·cm;所述无机碱为氢氧化钠或氢氧化钾;所述无机酸溶液的为盐酸或硫酸;所述容器为塑料容器。
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