[发明专利]X射线平板探测装置的制造方法

摘要

本发明公开了一种X射线平板探测装置的制造方法步骤包括提供一基板；在所述基板上形成薄膜晶体管、底电极和导电元件，所述底电极与导电元件通过连接部电连接成一个整体；在所述底电极上形成光电转换元件和顶电极；在所述薄膜晶体管的沟道上方形成遮光层的同时刻蚀所述连接部，使所述底电极与导电元件断开。本发明通过将底电极（源极）通过连接部电连接成一个整体，当薄膜晶体管制造完成以后，在后续的制造过程中，所述支撑柱与所述基板底面接触或分离的瞬间，将底电极（源极）产生的静电通过所述导电元件释放掉，避免薄膜晶体管的静电击穿。

主权项

一种X射线平板探测装置的制造方法，包括：步骤1：提供一基板；步骤2：在所述基板上形成像素开关、底电极和导电元件，所述底电极与导电元件通过连接部电连接成一个整体；步骤3：在所述底电极上形成光电转换元件和顶电极；步骤4：在所述薄膜晶体管的沟道上方形成遮光层的同时刻蚀所述连接部，使所述底电极与导电元件断开。