[发明专利]用于真空机械手的直接驱动电动机有效
| 申请号： | 201210394434.5 | 申请日： | 2012-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN102904409A | 公开（公告）日： | 2013-01-30 |
| 发明（设计）人： | 刘品宽 | 申请（专利权）人： | 上海微泓自动化设备有限公司 |
| 主分类号： | H02K21/00 | 分类号： | H02K21/00;H02K1/14;H02K1/24;H02K11/00;H02K1/27 |
| 代理公司： | 上海信好专利代理事务所(普通合伙) 31249 | 代理人： | 张静洁 |
| 地址： | 201114 上海市闵*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于真空机械手的直接驱动电动机，将电机转子置于真空环境中，电机转子与运动载体直接连接实现直接驱动，中间省去了减速机构；将定子置于大气环境中，并在电机定转子之间用真空隔离套隔开。本发明实现结构简单，精度高，转矩大，启动转矩低。本发明的转子还采用中空盘式结构，便于实现真空机器人的多轴轴系的空间同轴布置，并且可使配线从中穿过；采用大间隙的结构能够便于实现转子真空与定子大气环境的有效隔离，更加适用于半导体行业。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 真空 机械手 直接 驱动 电动机 | ||
【主权项】：
一种用于真空机械手的直接驱动电动机，其特征在于，所述电动机包括：定子（2）、转子（1），以及传感器；其中，所述转子（1）置于真空环境中，并且与真空环境内的机械手的传动轴直接连接，而所述定子（2）置于大气环境，所述定子（2）与转子（1）之间的气隙≥1.5mm，在定转子间设置有不导磁的真空隔离套3。
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