[发明专利]五轴差分干涉仪无效
| 申请号： | 201210394472.0 | 申请日： | 2012-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN102878923A | 公开（公告）日： | 2013-01-16 |
| 发明（设计）人： | 陈建芳;程兆谷;程亚;黄惠杰;池峰 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种五轴差分干涉仪，构成包括沿偏振正交双频激光入射方向依次为五轴分光系统和差分干涉模块。所述的五轴分光系统由4个45°平面分光镜和3个45°全反镜组成。本发明具有元件易加工、光路调节方便、非线性误差小和各路光束温漂一致等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 五轴差分 干涉仪 | ||
【主权项】：
一种五轴差分干涉仪，特征在于其构成包括沿偏振正交双频激光入射方向依次为五轴分光系统和差分干涉模块。
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