[发明专利]能束照射系统和工件传输机构

摘要

能束照射系统和工件传输机构。能束照射系统能在将能束有效地照射在工件上的同时实现显著的紧凑构造。能束照射系统包括能束发射机构、第一和第二轨道运动机构。能束发射机构朝预定的照射区域发射能束，以照射作为目标的至少一个第一工件和至少一个第二工件。第一轨道运动机构使所述至少一个第一工件沿预定的第一轨道作轨道运动，第一轨道包括照射区域。第二轨道运动机构使所述至少一个第二工件沿预定的第二轨道作轨道运动，第二轨道包括照射区域。当从垂直于由第一和第二轨道形成的理想轨道运动表面的方向观看时，由第一轨道包围的第一区域和由第二轨道包围的第二区域至少部分地重叠。工件传输机构包括第一和第二轨道运动机构。

主权项

一种能束照射系统，包括：能束发射机构，所述能束发射机构朝预定的照射区域发射能束，以照射作为目标的至少一个第一工件和至少一个第二工件；第一轨道运动机构，所述第一轨道运动机构使所述至少一个第一工件沿着预定的第一轨道作轨道运动，所述第一轨道包括所述照射区域；和第二轨道运动机构，所述第二轨道运动机构使所述至少一个第二工件沿着预定的第二轨道作轨道运动，所述第二轨道包括所述照射区域，其中当从垂直于由所述第一轨道和所述第二轨道形成的轨道运动表面的方向观看时，由所述第一轨道包围的第一区域和由所述第二轨道包围的第二区域至少部分地重叠。