[发明专利]组合压力/温度的紧凑型传感器组件

摘要

一种传感器组件包括矩形压力传感器元件和被耦合以从压力传感器元件接收信号的电子电路。传感器组件的开口式液密通道从传感器组件的入口开口部传送流体到矩形压力传感器元件的表面。传感器组件进一步包括封闭式的液密通道，其至少一部分用金属制造。封闭式液密通道至少从传感器组件的入口开口部延伸至在邻近矩形陶瓷压力传感器元件的路径的至少一部分上的电子电路处。传感器组件包括温度传感器元件，其被设置在封闭式液密通道的端部中。设置在封闭式液密通道中的导电连接，将温度传感器元件电气连接到电子电路上。

主权项

一种传感器组件，包括：矩形压力传感器元件，用于感测流体压力；电子电路，被耦合以从矩形压力传感器元件接收信号；开口式液密通道，其中从传感器组件的入口开口部传送流体到感测压力的矩形压力传感器元件的表面；封闭式的液密通道，该封闭式的液密通道的至少一部分用金属制造且部分封闭式的液密通道大体平行于开口式液密通道，封闭式液密通道至少从传感器组件的入口开口部延伸至在邻近矩形压力传感器元件的路径的至少一部分上的电子电路处；以及温度传感器元件，被设置在封闭式液密通道与入口开口部较近的一端，至少一个导电连接被设置在封闭式液密通道中，该导电连接将温度传感器元件电气连接到电子电路上。