[发明专利]一种电子级砷烷的合成和提纯方法有效
| 申请号： | 201210398083.5 | 申请日： | 2012-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN102863023A | 公开（公告）日： | 2013-01-09 |
| 发明（设计）人： | 李东升;周力;汤剑波 | 申请（专利权）人： | 上海正帆科技有限公司;合肥正帆电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C01G28/00 | 分类号： | C01G28/00 |
| 代理公司： | 上海申汇专利代理有限公司 31001 | 代理人： | 翁若莹 |
| 地址： | 201108*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电子级砷烷的合成和提纯方法，其特征在于，将砷化锌粉末与稀硫酸反应生成粗制的砷烷气体；将粗制的砷烷气体先通过冷凝器将气体中的液滴分离，然后通过吸附阱除去水分和二氧化碳，再置于第一液氮冷阱中，使砷烷凝固；然后将砷烷进行加热蒸发；通入化学吸附柱，去除含有硫化物的杂质，再通入分子筛吸附柱，去除含有水分、氧气、二氧化碳的杂质；最后将砷烷气体置于第二液氮冷阱中，使砷烷凝固，得到高纯度的砷烷产品。采用本发明提供的合成和提纯方法制备的砷烷产品，其纯度可达6N，产品中的杂质含量小于0.1ppm。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电子 级砷烷 合成 提纯 方法 | ||
【主权项】：
一种电子级砷烷的合成和提纯方法，其特征在于，依次包括如下步骤：第一步：将砷化锌粉末与质量浓度为10％‑50％的稀硫酸反应生成粗制的砷烷气体；第二步：将第一步制得的粗制的砷烷气体先通过冷凝器(4)将气体中的液滴分离，冷凝器的温度为‑40‑0℃；然后通过吸附阱(5)除去水分和二氧化碳；再通入中转容器(6)中，将该中转容器置于第一液氮冷阱(7)中，使砷烷凝固；第三步：将第二步得到的砷烷进行加热蒸发，产生砷烷气体；第四步：将第三步得到的砷烷气体通入含有碱性物质的化学吸附柱(9)，去除含有硫化物的杂质；再通入氧化铝分子筛吸附柱(10)，去除含有水分、氧气、二氧化碳的杂质；第五步：将第四步得到砷烷气体通入收集容器(11)中，将该收集容器(11)置于第二液氮冷阱(12)中，使砷烷凝固，得到高纯度的砷烷产品。
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