[发明专利]抛光装置有效
申请号: | 201210398644.1 | 申请日: | 2008-12-02 |
公开(公告)号: | CN102941522A | 公开(公告)日: | 2013-02-27 |
发明(设计)人: | 高桥圭瑞;关正也;草宏明;山口健二;中西正行 | 申请(专利权)人: | 株式会社荏原制作所 |
主分类号: | B24B21/00 | 分类号: | B24B21/00;B24B21/18;B24B21/20;H01L21/304 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 蔡洪贵 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明提供一种用于抛光基片的外周的抛光装置。该抛光装置包括配置成水平地保持基片并转动基片的旋转保持机构、设置在基片周围的多个抛光头组件、配置成将抛光带供给到多个抛光头组件并从多个抛光头组件收回抛光带的多个带供给与收回机构、以及配置成沿旋转保持机构保持的基片的径向方向移动多个抛光头组件的多个移动机构。所述带供给与收回机构沿着基片径向方向设置在多个抛光头组件的外侧,且所述带供给与收回机构被固定在位。 | ||
搜索关键词: | 抛光 装置 | ||
【主权项】:
一种用于抛光基片的缺口部分的抛光装置,其中,所述抛光装置包括:水平地保持基片并转动基片的旋转保持机构;使用抛光带抛光基片的多个抛光头模块;以及使所述多个抛光头模块相互独立地移动的移动机构;所述多个抛光头模块中的每个包括使抛光带与基片的缺口部分滑动接触的抛光头、以及将所述抛光带供给到所述抛光头并从所述抛光头收回抛光带的带供给与收回机构。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社荏原制作所,未经株式会社荏原制作所许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201210398644.1/,转载请声明来源钻瓜专利网。