[发明专利]一种六氟化硫气体试验仪器尾气回收装置

摘要

本发明提供一种六氟化硫气体试验仪器尾气回收装置，包括：外置储气罐、尾气回收装置主体；尾气回收装置主体包括：通过气体连接管路与六氟化硫气体试验仪器的仪器进气口连接的待检气源入口；待检气源入口与所述仪器进气口之间还设置有质量流量控制器；一端通过气体连接管路与六氟化硫气体试验仪器的仪器尾气出口连接的缓冲罐；缓冲罐的另一端通过气体连接管路连接一气泵；气泵通过气体连接管路连接一单向阀；单向阀连接回充管路的一端；回充管路的另一端与外置储气罐密封连接，将经过回收压缩后的六氟化硫尾气输送至外置储气罐中进行存储。本发明可以实现六氟化硫气体试验尾气的零排放，具有便携性好、回收能力强、适用范围广的优点。

主权项

一种六氟化硫气体试验仪器尾气回收装置，其特征在于，包括：外置储气罐、尾气回收装置主体；所述尾气回收装置主体包括：通过气体连接管路与所述六氟化硫气体试验仪器的仪器进气口连接的待检气源入口；所述待检气源入口与所述仪器进气口之间还设置有用于根据所述六氟化硫气体试验仪器的要求配置六氟化硫气体流量，使所述六氟化硫气体试验仪器尾气回收装置适用于不同六氟化硫气体试验仪器的质量流量控制器；一端通过气体连接管路与所述六氟化硫气体试验仪器的仪器尾气出口连接的，用于缓存从所述六氟化硫气体试验仪器回收的六氟化硫尾气的缓冲罐；所述缓冲罐的另一端通过气体连接管路连接一用于对所述六氟化硫尾气进行压缩的气泵；所述气泵通过气体连接管路连接一单向阀；所述单向阀连接回充管路的一端；所述回充管路的另一端与所述外置储气罐密封连接，将经过回收压缩后的六氟化硫尾气输送至所述外置储气罐中进行存储。