[发明专利]一种硅微通道板的氧化方法有效
| 申请号： | 201210402277.8 | 申请日： | 2012-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN102956416A | 公开（公告）日： | 2013-03-06 |
| 发明（设计）人： | 王连卫;彭波波;杨平雄 | 申请（专利权）人： | 华东师范大学;上海欧普泰科技创业有限公司 |
| 主分类号： | H01J9/12 | 分类号： | H01J9/12;B81C1/00 |
| 代理公司： | 上海伯瑞杰知识产权代理有限公司 31227 | 代理人： | 吴泽群 |
| 地址： | 200062 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种硅微通道板的氧化方法，具体步骤如下：1）将硅微通道板切割成一定形状；2）将硅微通道板置1号液和2号液中清洗；3）在平面型石英舟上放置两块平行的硅片或石英棒，将清洗好的硅微通道板架在硅片或石英棒上氧化，石英棒或硅片的方向与气流方向平行。本发明在已经通过阳极氧化等方法制作的硅微通道板的基础上，进行氧化，提高硅微通道板的板电阻，并能够克服应力造成的弯曲等问题，从而实现微通道板的应用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 通道 氧化 方法 | ||
【主权项】：
一种硅微通道板的氧化方法，其特征在于：具体步骤如下：1）将硅微通道板切割成一定形状；2）将硅微通道板置1号液和2号液中清洗；3）在平面型石英舟上放置两块平行的硅片或石英棒，将清洗好的硅微通道板架在硅片或石英棒上氧化，石英棒或硅片的方向与气流方向平行。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于华东师范大学;上海欧普泰科技创业有限公司，未经华东师范大学;上海欧普泰科技创业有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201210402277.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：电子射线源产生装置及产生低剂量率电子射线的方法
- 下一篇：电解液及其配制方法
