[发明专利]卧式滚筒真空镀膜机无效
| 申请号： | 201210405753.1 | 申请日： | 2012-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN102912297A | 公开（公告）日： | 2013-02-06 |
| 发明（设计）人： | 李志荣;李志方;罗志明 | 申请（专利权）人： | 东莞市汇成真空科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22;C23C14/56 |
| 代理公司： | 深圳市博锐专利事务所 44275 | 代理人： | 张明 |
| 地址： | 523838 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及真空镀膜设备领域，具体公开了一种卧式滚筒真空镀膜机，包括空心圆筒状壳体，所述壳体内固定有密封隔板，所述密封隔板将壳体内部分为两个互相独立的区域，其中一区域设置为真空的密封隔离区，另一区域为镀膜室用于容置镀膜用器件。本发明在壳体内建立了一个真空的密封隔离区，当镀膜机工作抽真空时仅需抽除此密封隔离区以外区域的气体，在相同容积壳体内腔的状态下，减少了需要抽真空的体积，减少抽真空时间，提高了工作效率；并且减少了镀膜室内压缩可凝水蒸气体积，从而提高镀膜产品膜层质量。密封隔离区保持为真空状态，在镀膜过程避免密封隔离区向镀膜室内漏气。 | ||
| 搜索关键词： | 卧式 滚筒 真空镀膜 | ||
【主权项】：
一种卧式滚筒真空镀膜机，其特征在于，包括空心圆筒状壳体，所述壳体内固定有密封隔板，所述密封隔板将壳体内部分为两个互相独立的区域，其中一区域设置为真空的密封隔离区，另一区域为镀膜室用于容置镀膜用器件。
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