[发明专利]一种氧化锌衬底转移石墨烯的退火方法有效
| 申请号： | 201210408178.0 | 申请日： | 2012-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN102931076A | 公开（公告）日： | 2013-02-13 |
| 发明（设计）人： | 王东;宁静;韩砀;闫景东;柴正;张进成;郝跃 | 申请（专利权）人： | 西安电子科技大学 |
| 主分类号： | H01L21/324 | 分类号： | H01L21/324;H01L21/477 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 710065 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种氧化锌衬底转移石墨烯的退火方法，采用低压低温气氛退火的方式，针对氧化锌衬底的特性，为避免掺杂效应，通过改变气氛条件，调节退火温度和退火处理的时间，去除转移过程中的PMMA光刻胶残留，并尽可能减少掺杂效应对石墨烯性能的影响，针对新型光电、压电器件的应用需求，实现了氧化锌和石墨烯衬底的特性结合，同时实现了原子重整和弛豫共格生长，减小了局部应力，改善了石墨烯和衬底的结合状况，消除了残胶引起的性能退化，为氧化锌-石墨烯结构器件提供了材料。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氧化锌 衬底 转移 石墨 退火 方法 | ||
【主权项】：
一种基于氧化锌衬底转移石墨烯的退火方法，其特征在于，采用低压低温气氛退火的方式，针对氧化锌衬底，通过改变气氛条件，调节退火温度和退火处理的时间，去除转移过程中的PMMA光刻胶残留，并尽可能减少掺杂效应对石墨烯性能的影响，改善了石墨烯和衬底的结合状况，消除了残胶引起的性能退化，为氧化锌‑石墨烯结构器件提供了材料。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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