[发明专利]监控金属工艺后短路或断路的测试结构在审
| 申请号： | 201210410222.1 | 申请日： | 2012-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN103779330A | 公开（公告）日： | 2014-05-07 |
| 发明（设计）人： | 苗彬彬;金锋 | 申请（专利权）人： | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/544 | 分类号： | H01L23/544 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 丁纪铁 |
| 地址： | 201203 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种监控金属工艺后短路或断路的测试结构，包含至少3根相距一定距离的平行走线，外侧和内侧的金属线形成封闭矩形，中间金属线为几字线型，且最外侧金属线具有T字线型突出，T字突出的端部放置在中间金属线的几字型内弯里，同时最内侧矩形金属线的四内角区域放置4个金属岛。通过上述测试结构，可有效监测金属工艺后的短路或断路等工艺缺陷问题。 | ||
| 搜索关键词： | 监控 金属工艺 短路 断路 测试 结构 | ||
【主权项】：
一种监控金属工艺后短路或断路的测试结构，其特征在于：包含：至少3根等距平行走线的金属线，最外侧及最内侧金属线围成封闭或者不封闭的矩形，中间金属线围成非封闭矩形，且中间金属线每边上均具有几字型内弯，相应内侧金属线每边上对应中间金属线也具有平行等距的几字型内弯，外侧金属线具有T字型突起线端，突起线端放置于中间金属线的几字内弯内，所述内侧金属线形成的封闭矩形四个内角内均放置一个金属岛区。
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