[发明专利]对检查结果的目视检验操作进行辅助的系统、装置及方法

摘要

对于完成了自动外观检查的目标(基板)，存储在检查中使用的图像，将通过检查中的测量处理获得的测量数据与测量目标区域的位置信息相关联地存储，并通过使用这些存储的信息，显示用于对目视检验特定检查目标区域(部件100)的实际状态的操作进行辅助的图像。该图像与等效于基板的一部分的区对应，并包括检验目标部件100。对于图像中的检验目标部件100，实施由框架UW以及线L1和L2进行的标记。而且，提取目视可识别且具有固有特征的特征区域(部件101、102、103等)以便包围检验目标部件100的外围。

主权项

一种用于对检查结果的目视检验操作进行辅助的系统，所述系统为用于对检验具有使用图像进行了自动外观检查的多个区域的检查目标的至少一个检查目标区域的状态的操作进行辅助的系统，所述操作通过目视识别实际检查目标的方法进行，所述系统包括：图像存储单元，配置成存储所述检查目标的图像，所述图像通过对所述自动外观检查成像而产生；测量数据存储单元，配置成将通过所述自动外观检查的测量处理获得的测量数据与通过所述测量处理测量的目标区域的位置信息相关联地存储；图像读取单元，配置成基于检验目标区域的位置信息或标识信息从所述图像存储单元读取区的图像，所述区包括所述检验目标区域且与所述检查目标的一部分对应；特征区域提取单元，配置成对与包含于与由所述图像读取单元读取的所述图像对应的所述区中的所述位置信息相关联地存储在所述测量数据存储单元中的所述测量数据进行分析，并提取具有单独目视可识别的固有特征且分布在所述检验目标区域周围的一个或多个特征区域；图像编辑单元，配置成将由所述图像读取单元读取的所述图像编辑成这样的状态，在该状态下所述图像中的各个所述特征区域与所述检验目标区域以彼此不同的模式进行标记；以及显示单元，配置成显示由所述图像编辑单元编辑的所述图像。